数字式电源的主要功能
Ø 面板采用数字键盘和功能键盘设定电源参数，操作简单、方便，能够的控制电源的相关参数，保证工艺重复性。
Ø 通讯传输介质采用数字光纤，减少通讯干扰，能够更快速、准确地控制电源各输出量，尤其是远距离控制。
Ø 以通讯的方式控制电源，通讯协议采用MODBUS或组态王，便于真空镀膜系统的计算机控制。
Ø 具有灭弧增强功能，能自动快速判断连续弧状况，并快速灭弧。灭弧电压、灭弧时间可自由设定。
Ø 显示电源的工作状态，当出现故障时，报警状态指示灯以及蜂鸣器响会提示。
Ø 通过控制器的调整，能够达到更高的控制精度。
Ø 采用数码方式显示电源参数。
Ø 有负载过流保护功能，并能自动恢复。
Ø 具有过热保护功能。
数字中频磁控溅射电源主要技术参数表
电源功率范围 | 5-100kW |
三相输入参数 | |
三相输入电压 | AC380V±5% ， 50Hz |
输出参数 | |
输出功率 | 5-100kW |
工作方式 | 恒流\恒功率 |
工作电压 | 50-1200V |
工作电流 | 5-100A |
空载电压 | 大于1000V |
输出频率 | 40kHz |
输出占空比 | 80% |
其他参数 | |
外形尺寸 | 4U机箱 |
控制方式 | 数字面板+RS485通讯 |
通讯介质 | 光纤 |
通讯协议 | MODBUS |
冷却方式 | 风冷或水冷 |
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