名 称 | 技术指标 |
结构 | 材料：304；立式；上开门；双层：Φ400×350mm |
极限真空度 | 7.5×10-7 Pa |
工作真空度 | 5×10-6 Pa |
保真空 | 停机12小时≤10-2 Pa |
真空系统 | 分子泵+离子泵+直联机械泵+真空阀门 |
真空测量 | 三路（两低一高） |
脉冲高压电源 | *大功率5KVA |
直流高压电源 | *大功率5KVA |
直流稳压稳流电源 | 0-60V;0-20A |
测试系统 | 发射电流测试装置 |
发射电流取样盒 | |
自循环液冷阳极散热系统 | |
控制系统 | 人机界面+PLC |
电气元件 | 空开、接触器、继电器、端子 |
冷却水系统 | 冷水机+管道+阀门+流量保护 |
空压机系统 | 空压机+管道+油水分离+阀门 |
客服1 
客服2