部分：磁力送样结构
磁力送样，可以将样品托从进样室传到有机材料蒸发室，金属材料蒸发室，手套箱
第二部分：进样室
1、形式：圆筒卧式前开门，并装有玻璃观察窗， 具有一个机械手臂用于样片的接送
2、具有1个磁力推送杆接口，分别用于与有机蒸镀腔，无机蒸镀腔，以及手套箱连接
3、材料：304
4、极限真空可达8×10-4Pa
5、抽气速度：真空室在常温下，从1大气压至0.1 Pa 时间≤ 5分钟
6、真空测量：数显真空计，ZJ-52型电阻规
7、基片等离子清洗（脉冲偏压电源提供离子电源）
恒压电源，*大为1000伏特；频率可调（30～60K）；占空比可调（10～90%）
8、流量控制1个 进气孔，测试监控，数字显示
第三部分：有机材料蒸发室
（一）有机材料蒸发室室体
极限真空可达1×10-5 Pa；工作真空度：≤5×10-5 Pa； 停机12小时后真空度≤8Pa，
1、型式：立式，单层，立式前开门Φ300，具有一个机械手臂用于样片的接送
2、参考内径尺寸：Φ400×450mm
3、材料：不锈钢304
4、基片位置：真空室上面室顶部，（自转动）
5、基片加热，温度可调节范围300°，温度精度为0.5°
6、蒸发源：真空室下面室底部6个蒸发源
7、蒸发源挡板，容易拆卸和重新组装（进口旋转气缸、磁流体旋转）
8、真空室衬板
9、真空室架
10、观察窗
11、照明灯
（二）真空系统
直联泵+分子泵+真空阀门+真空管道
（三）真空测量：
（四）热蒸发镀膜系统
温度控制，可控硅
（五）样品自转系统：在真空室顶部，自转结构；
（六）室体温控：室体烘烤
（七）测膜仪：
（八）掩膜版转移架， 放置3个掩膜版，转移架的高度可调
第四部分：无机材料蒸发室
（一）无机材料蒸发室室体
极限真空度：≤1×10-5 Pa；工作真空度：≤5×10-5 Pa；停机12小时后真空度≤8 Pa
1、型式：立式，单层，立式前开门Φ300，具有一个机械手臂用于样片的接送
2、参考内径尺寸：Φ400×450mm
3、材料：不锈钢304
4、基片位置：真空室上面室顶部，（自转动）
5、蒸发源：真空室下面室底部6个蒸发源
6、蒸发源挡板：进口旋转气缸、磁流体旋转
7、真空室衬板
8、真空室架
9、观察窗
10、照明灯
（二）真空系统
直联泵+分子泵+真空阀门+真空管道
（三）真空测量
（四）热蒸发镀膜系统
（五）样品自转系统
（六）测膜仪：包含3套膜厚探头（美国INFICON）
（七）电源：220V（AC）50Hz ， *大功率：3000W保证金属材料，Al,Ag,Au，Cu，Mg,Ca，以及无机材料MoO3，LiF，Cs2CO3等的正常蒸镀，配套所有材料用的批量的蒸镀舟，保证舟与设备的耦合。
第五部分：真空手套箱系统
一、手套箱功能特点
1、手套箱结构：一个与真空腔体以及磁传送杆相通的进样窗口，两个手动进样窗口
2、气体介质：N2、Ar、He气体
3、净化系统采用可再生/还原的净化材料
4、控制系统实现功能：手/自动控制系统气压
5、手/自动控制系统的净化状态
6、自动控制气体净化系统的还原过程
7、自动提示、报警功能；
8、系统控制参数设置；系统参数记录；系统执行机构工况检测。
9、电源：220V（AC），50HZ， *大功率：3000W
10、性能指标：标准情况下箱体内水含量(注：标准情况为一个大气压，20度恒温) ≤1ppm；标准情况下箱体内氧含量(注：标准情况为一个大气压，20度恒温) ≤1ppm；过渡舱可承受真空度值 ＞100pa；泄漏率 ≤ 0.05vol%/h
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